真空發(fā)生器主要由噴嘴和擴(kuò)張管組成（見圖1）。氣體常數(shù)穩(wěn)定等熵流的能量方程可用于壓縮流體的伯努利方程如下。
其中p是壓力; Q是密度; v是流速; k = Cp / Cv，其中Cp是恒定壓力比熱，Cv是恒定體積比熱，并且常數(shù)是常數(shù)。將0點(diǎn)的狀態(tài)參數(shù)代入等式（1），由于流出噴嘴的流速v0是超音速的，因此已知此時(shí)的絕對壓力p0很小，因此可以獲得所需的真空度。
如果在低壓部分S引入二次氣流（G〃，PS，TS，vs），則高速一次氣流（G'，Pn，Tn）將與其混合，并且將交換動(dòng)能。 ，二次氣流將加速。
混合氣體通過膨脹管減速，并且動(dòng)能再次轉(zhuǎn)換成壓力能。因此，如果要在S處連接要抽空的系統(tǒng)，則可以實(shí)現(xiàn)抽真空。
1耗氣量：指噴嘴的流量。它由參考狀態(tài)下的體積流量表示。
2排氣量：指從真空口吸入的氣流。當(dāng)真空口向大氣開放時(shí)，其位移最大，稱為最大位移。
3到達(dá)真空：指大氣壓力與真空室內(nèi)絕對壓力之間的差異。當(dāng)吸入口完全關(guān)閉時(shí)，即位移為0時(shí)，真空室的真空度稱為最大到達(dá)真空度。
真空發(fā)生器安全原理一般分為單級真空發(fā)生器和多級真空發(fā)生器。單級真空發(fā)生器可以細(xì)分為傳統(tǒng)的單級真空發(fā)生器，線性真空發(fā)生器和集成真空發(fā)生器。
該真空發(fā)生器具有體積小，重量輕，真空度高，真空發(fā)生快，運(yùn)動(dòng)部件少，振動(dòng)小，壽命長，噪音低，安裝方便，維護(hù)簡單，控制方便，可靠性高等優(yōu)點(diǎn)。化學(xué)工業(yè)。
它廣泛用于電子，玻璃制造，機(jī)械制造和家用電器制造等行業(yè)。特別是當(dāng)與真空吸盤結(jié)合使用時(shí)，它具有力均勻，不損傷工件，響應(yīng)快，體積小等優(yōu)點(diǎn)，因此在處理精密物品時(shí)，傳統(tǒng)方法難以處理的物品，以及應(yīng)力變形的物品和小物品，具有無可比擬的優(yōu)勢，在自動(dòng)化生產(chǎn)中發(fā)揮著越來越重要的作用。